pfeiffer 分子泵在low-e线中的应用
low-e全名low emissivity,是低辐射镀膜玻璃。相对热反射玻璃而言是一种新型节能玻璃。
目前国际上普遍采用真空磁控溅射镀膜技术(法)生产low-e玻璃。
原理:玻璃垂直放置在架子上,送入10-1帕数量级的真空环境中,通入适量的工艺气体(惰性气体ar或反应气体o2、n2),并保持真空度稳定。将靶材ag、si等嵌入阴极,并在与阴极垂直的水平方向置入磁场从而构成磁控靶。以磁控靶为阴极,加上直流或交流电源,在高电压的作用下,工艺气体发生电离,形成等离子体。其中,电子在电场和磁场的共同作用下,进行高速螺旋运动,碰撞气体分子,产生更多的正离子和电子;正离子在电场的作用下,达到一定的能量后撞击阴极靶材,被溅射出的靶材沉积在玻璃基片上形成薄膜。为了形成均匀一致的膜层,阴极靶靠近玻璃表面来回移动。为了取得多层膜,必须使用多个阴极,每一个阴极均是在玻璃表面来回移动,形成一定的膜厚。
德国pfeiffer凭借其120多年的真空制造经验和全球范围内的凯发体育备用平台的售后服务和凯发体育备用平台的技术支持赢得low-e市场客户的青睐,德国冯.阿登纳(von ardenne)是最典型的客户,其使用pfeiffer分子泵的loe-e生产线使用在信义玻璃,南玻等中国玻璃制造巨头
ø 多抽速供客户选择,抽速为1,000至2,000l/s
ø 对于h2,he和ar,cf4有高的抽速
ø 安装位置从0到90度,90到180度
ø 高的气体流通量,即使是ar,cf4
ø 集成的tc 1200驱动单元可直接连接电源
ø 抗腐蚀能力供选择
ø 丰富的接口界面:rs-485以及远程控制;profibus或者devicenet可供选择
ø 拥有ip 54和semi 等级
ø 稳定安全的转子轴承系统
ø 符合ul,csa以及tuv认证
ø 简单的安装
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